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thermocera多氣氛晶圓退火爐minilab-WCF

訪問次數(shù):1106

更新日期:2024-03-23

簡要描述:

thermocera多氣氛晶圓退火爐minilab-WCF
最高溫度 2000°C確保安全性和可操作性 僅晶圓退火 從超高溫多氣氛爐的新材料和材料的開發(fā),半導體和電子元件的研發(fā)等,可廣泛用于小規(guī)模生產(chǎn)應(yīng)用。

thermocera多氣氛晶圓退火爐minilab-WCF
品牌其他品牌燃料電加熱鍋爐
結(jié)構(gòu)形式立式出口壓力高壓

thermocera多氣氛晶圓退火爐minilab-WCF

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超高溫晶圓退火爐 最高2000°C


多氣氛晶圓退火設(shè)備,可用于各種
工藝環(huán)境下的小規(guī)模生產(chǎn)


C/C復合加熱器

最高2000°C

碳化硅3涂層加熱器

最高1600°C

TiC3涂層加熱器

最高2100°C

C/C 復合材料、SiC3 涂層、TiC3 涂層加熱器最高溫度 2000°C確保

安全性和可操作性 僅晶圓退火 從超高溫多氣氛爐的新材料和材料的開發(fā),半導體和電子元件的研發(fā)等,可廣泛用于小規(guī)模生產(chǎn)應(yīng)用。

特征

三種類型的爐子加熱器/絕緣材料擴大了碳爐的應(yīng)用范圍。

  • C/C復合加熱器

  • SiC3(碳化硅)涂層加熱器

  • TiC3(碳化鈦)涂層加熱器

最高工作溫度 2000°C

  • C/C復合加熱器

  • TiC3涂層加熱器

  • 碳化硅3涂層加熱器

PLC 半自動操作(真空/吹掃→排氣)

  • 通過觸摸屏 HMI 操作

  • *全自動操作也是可能的(面議)

爐膛加熱范圍

  • Φ4寸 ? φ8寸

  • 單晶圓或多級盒(5張)批量類型

很多選擇

  • 自動爐壓調(diào)節(jié)(APC控制)

  • 用于測量爐中樣品溫度的附加熱電偶

  • 額外的前視口+高溫計,用于爐子測量

  • 坩堝旋轉(zhuǎn)

  • 全自動控制

  • 通信功能(使用溫度控制功能)或SECS/GEM通信

thermocera多氣氛晶圓退火爐minilab-WCF

原理圖規(guī)格

 C/C復合線材碳化硅3涂層石墨絲TiC3涂層石墨絲
最高工作溫度最高2000°C最高1600°C最高2100°C
絕緣石墨、氧化鋁、鎢、鉬、氧化鋯等(*因爐內(nèi)結(jié)構(gòu)而異)
真空室SUS304水冷夾套結(jié)構(gòu),頂部加載,線性驅(qū)動可打開
使用氛圍在真空或惰性氣體(Ar、N2)中在真空中,惰性氣體(Ar,N2),還原氣體(H2等)
有效加熱范圍Φ4寸 ? φ8寸
極限真空度1x10-2 帕斯卡(* 用于空爐)
真空泵干式渦旋泵(可選:渦輪分子泵)
熱電偶C型熱電偶
聯(lián)鎖腔室表面溫度、加熱器超溫、冷卻水滴、腔室開閉、真空度
公用設(shè)施和冷卻水加熱器額定值最大 8KVA(* 取決于加熱范圍尺寸),冷卻水最大 8l/min 0.4Mpa





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