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更新日期:2024-03-19
簡要描述:
日本nanogray X射線測厚儀SX-1100系列使用軟X射線(軟X射線)的厚度計(jì)(膜厚度計(jì))。以非接觸方式(軟X射線)測量薄片和板狀物體的厚度和密度(基本重量)。通過直接與參考物質(zhì)比較來計(jì)算厚度和密度(基本重量),而不是直接測量厚度。
類型 | 數(shù)字式 | 測量范圍 | 1 |
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日本nanogray X射線測厚儀SX-1100系列
使用軟X射線(軟X射線)的厚度計(jì)(膜厚度計(jì))。以非接觸方式(軟X射線)測量薄片和板狀物體的厚度和密度(基本重量)。通過直接與參考物質(zhì)比較來計(jì)算厚度和密度(基本重量),而不是直接測量厚度。
通常,為了測量片材的寬度方向上的厚度分布,檢測系統(tǒng)由掃描儀攜帶并進(jìn)行測量。通常使用激光位移計(jì)作為不接觸地測量厚度的手段,但是如果將激光位移計(jì)安裝在掃描儀上,則其傳送的精度遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于激光位移計(jì)的精度,從而導(dǎo)致結(jié)果。高精度測量是困難的。
另一方面,在諸如X射線厚度計(jì)之類的通過透射衰減來估計(jì)厚度的方法中,測量了空氣層-樣品-空氣層與透射之間的衰減,但是由于樣品引起的衰減很大。比空氣的厚度大,運(yùn)輸?shù)挠绊憙H表現(xiàn)為空氣層厚度的變化,并且影響很小。因此,可以高精度地進(jìn)行測量。
軟X射線測厚儀的一般功能
與傳統(tǒng)的軟X射線測厚儀相比,我們的軟X射線測厚儀的功能
采用
日本nanogray X射線測厚儀SX-1100系列