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更新日期:2024-03-19
簡要描述:
日本sanyu electron臺式快速涂布機(jī)SC-701HMCⅡ支持W(鎢)/ Ni(鎳)/ Cr(鉻)/ Ti(鈦)等成膜的DC濺射設(shè)備。使用磁控管陰極內(nèi)置微型計算機(jī)對成膜過程進(jìn)行高精度控制
品牌 | 其他品牌 |
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日本sanyu electron臺式快速涂布機(jī)SC-701HMCⅡ
特征
支持W(鎢)/ Ni(鎳)/ Cr(鉻)/ Ti(鈦)等成膜的DC濺射設(shè)備。
使用磁控管陰極
內(nèi)置微型計算機(jī)對成膜過程進(jìn)行高精度控制
操作方式為全自動/手動兩種模式
標(biāo)配自動快門機(jī)構(gòu)
應(yīng)用/結(jié)果示例
W / Ni / Cr / Ti等的成膜
燃料電池基礎(chǔ)實(shí)驗
日本sanyu electron臺式快速涂布機(jī)SC-701HMCⅡ
基本規(guī)格
陰極 | φ2英寸磁控管陰極 |
快門機(jī)制 | 自動/手動操作 |
氣體導(dǎo)入機(jī)制 | 針閥(自動/手動控制) |
真空泵 | 直連式旋轉(zhuǎn)泵:100l / min(有自動泄漏) |
箱體尺寸 | 內(nèi)徑φ160mmx D160mm(SUS制) |
樣品交換方法 | 前門開合式 |
尺寸(寬/深/高) | 機(jī)身: 360/360 / 260mm RP:174/460 / 264mm |
重量 | 身體:20公斤 RP:23公斤 |