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半導(dǎo)體制造過程中曝光過程的控制用紫外線傳感器UV-300K介紹分析
用于生產(chǎn)線的高性能紫外線傳感器 由高度耐用的紫外-可見波長轉(zhuǎn)換玻璃制成
持續(xù)監(jiān)測是否有一定量的光線照射在其上的紫外線傳感器。您可以監(jiān)控?zé)襞堇匣闆r和不亮燈情況，并適當(dāng)管理燈泡更換。
通過反饋燈的光強(qiáng)度變化來穩(wěn)定光強(qiáng)度。
配備兩種工作模式：光強(qiáng)模式和積分模式。另外，模擬輸出標(biāo)配電壓1～5V/電流4～20mA。此外，還配備了通過示教設(shè)置靈敏度和應(yīng)答功能。
紫外線傳感器廣泛用于多種用途，包括工業(yè)過程控制、質(zhì)量控制、安全改進(jìn)、效率和環(huán)境保護(hù)。
半導(dǎo)體制造設(shè)備：半導(dǎo)體制造過程中曝光過程的控制
水處理：水殺菌、殺菌過程中紫外線的管理
UV 固化：使用 UV 固化粘合劑進(jìn)行過程控制
照明：磁粉探傷中紫外光的監(jiān)測
印刷：驗證紫外線是否正確固化油墨和涂料
空氣凈化：食品工廠等紫外線空氣凈化的光強(qiáng)度控制。
薄膜：表面改性的紫外線管理
| 格式 | 紫外-300K |
|---|---|
| 運行指示燈 | 紅色LED（檢測輸出ON時亮起） |
| 測量光量范圍* | UV-T254、UV-T365、UV-L、UV-S [254nm] 0.1 至 30mW/cm2，使用高靈敏度頭時：0.01 至 3mW/cm2 [365nm] 3 至 900mW/cm2，使用高靈敏度頭時光頭：0.3~90mW/cm2 UV-T405 [405nm] 300~9,000mW/cm2 |
| 外部示教輸入 外部復(fù)位輸入 | ON：0~1.5V（0V短路電流1mA以下） OFF：開路或4~30V |
| 光量值顯示（相對值） | 3位LED 光強(qiáng)模式：0-125% 積分模式：0-200% |
| 檢測輸出 應(yīng)答輸出 | NPN集電極開路（DC30V、100mA以下） |
| 模擬輸出 | 電壓/電流切換 1~5V (0~100%, 6V/125%) 4~20mA (0~100%, 24mA/125%) |
| 檢測輸出 閾值設(shè)置 | 通過開關(guān)以 1% 為單位進(jìn)行設(shè)置 光強(qiáng)度模式：10 至 100% 積分模式：10 至 200% |
| 靈敏度設(shè)置 | 示教（設(shè)置為100%值） 最小靈敏度、最大靈敏度、零點設(shè)置 |
| 電纜 | 0.15mm2 屏蔽7芯 橡膠電纜 φ5.5mm x 2m |
| 重復(fù)性 | ±2%FS以下 |
| 溫度漂移 | 0.1%FS/℃以下 |
| 使用環(huán)境 | 溫度：-25~+55℃/35~85%RH（不凝露、不結(jié)冰） |
| 電源電壓 | DC12~24V±10%（紋波P-P10%以下） |
| 響應(yīng)時間 | 300ms以下 |
| 消耗電流 | 50mA以下（不包括輸出電流） |
| 大量的 | 約140克 |
* 254nm：Oak Manufacturing UV-M02 (UV-25) 365nm：Ushio Inc. UIT-101 (UVD-365PD) 405nm：Oak Manufacturing UV-42
| 格式※ | 紫外-T405 | 紫外-T365 | 紫外-T254 | 紫外線 | 紫外光 |
|---|---|---|---|---|---|
| 特征 | 耐熱 | 長袖 | 短袖 | ||
| 監(jiān)測波長范圍 | 200~330nm、360~420nm、455~476nm、517~600nm | 300~380nm | 170~380nm | ||
| 溫度漂移 | -0.3%/℃以下(at254nm) -0.1%/℃以下(at365nm) -0.06%/℃以下(at405nm) | -0.1%/℃以下 | |||
| 使用環(huán)境 | 溫度：-40~+300℃/ 35~85% RH（不凝露、不結(jié)冰） | 溫度：-40~+150℃/ 35~85% RH（不凝露、不結(jié)冰） | |||
| 材料 | 紫外可見波長轉(zhuǎn)換玻璃，SUS | ||||
| 配件 | M6螺母、墊圈 | ||||
* UV-T365和UV-T254具有高靈敏度頭UV-T365W和UV-T254W。
| 格式 | 紫外光 | 紫外線F |
|---|---|---|
| 特征 | 耐熱 | 自由剪裁 |
| 使用環(huán)境 | 溫度：-40~+300℃/ 35~85% RH（不凝露、不結(jié)冰） | 溫度：-40~+70℃/ 35~85% RH（無凝露、無凍結(jié)） |
| 儲存溫度 | -40～+70℃ | |
| 全長 | 2m（帶防紫外線管） | 2m（前端有1m紫外線防護(hù)管） |
| 材料 | 多組分玻璃，SUS | 丙烯酸、聚乙烯、SUS |
*放大器插入部分的耐熱溫度為+70℃
