二流體是指兩種介質(zhì)(可以是兩種液體,也可以是一種液體,一種氣體)在一定條件下相遇,形成內(nèi)部相互穿流的復合流體。廣泛應用于加濕、噴霧、清洗等領域。
二流體技術在廠務方面主要的應用為加濕。例如:空調(diào)箱二流體加濕器的應用。二流體加濕器利用真空虹吸的原理將RO水與壓縮空氣混合后經(jīng)控制器的調(diào)節(jié)控制經(jīng)加濕噴嘴,利用空化作用使水霧化達到加濕的效果。
二流體技術在半導體工藝方面主要的應用為清洗。例如:二氧化碳發(fā)泡機的應用。二氧化碳發(fā)泡機主要是用于芯片切割劃片時,通過二氧化碳發(fā)泡機產(chǎn)生的二氧化碳泡沫來防止靜電吸附硅屑,以及用于中和清洗產(chǎn)品中的堿性物質(zhì),確保清洗過程中的純凈度。
綜上,在半導體工廠中二流體技術的應用還是十分常見的。但是在該技術的及時應用中確有一重要點需要多加防范:二流體發(fā)生裝置的串流問題。即液體竄至氣體管道以及系統(tǒng)內(nèi)或者氣體竄至液體管道以及系統(tǒng)內(nèi)。
ATOMAX的產(chǎn)品特征
Atmax噴嘴是獲得“外混合渦流式緊湊型精密二流體噴嘴”,非常適合霧化液體。
高速旋流將液體高效粉碎霧化成霧化噴霧。液滴尺寸分布也非常好。噴嘴內(nèi)部結構非常簡單,大直徑可以穩(wěn)定連續(xù)噴射,不會堵塞。為了獲得霧化液體,人們一直認為液體應該通過微小的孔噴射出來,但Atmax噴嘴是一個源自非常想法的原創(chuàng)產(chǎn)品。
結構簡單即使使用高粘度和漿料也不會堵塞
還可以噴涂以前難以霧化的粘性液體、漿料和乳液。
由于是外置混合噴嘴,因此噴嘴內(nèi)部不存在液體堵塞的可能性。
液體流路具有簡單的直線結構。
與傳統(tǒng)噴嘴相比,噴霧孔徑更大(約10至200倍)。
即使在低壓下也能進行噴霧操作,因此不會滴落或滴落。
高性能/高功能可噴射 細顆粒噴霧(5μm)
即使噴射直徑很大,也可以噴射出細小的顆粒。渦流霧化提供非常均勻的顆粒尺寸。
使用單個噴嘴可以控制從相當于 5 微米到雨滴大小的顆粒的噴霧。
該噴嘴也非常適合多種液體的混合噴涂。液體供應通過管道分別輸送到噴嘴附近,從而可以在噴嘴噴射部分進行混合噴射。當由于液體的性質(zhì)而無法預先攪拌和混合時,它是有效的。
由于部件配置簡單,噴嘴可以根據(jù)產(chǎn)品的環(huán)境和耐化學性使用特殊材料制造。我們可以選擇和制造耐熱、耐腐蝕、耐磨材料。
由于單噴嘴的噴射控制自由度較大,因此噴射條件的設定相對容易。通過控制液體供應量和霧化氣體流量,可以實現(xiàn)所需的噴射設置。
小巧輕便可以安裝在任何地方、用于任何目的
噴嘴尺寸極小,因此可以安裝在任何地方。
由于重量輕,因此可以輕松安裝在設備中。噴嘴可以使用注射口附近的安裝螺釘和螺母固定。
優(yōu)異的維護性僅 2 個組件
只有兩個部件,易于安裝和拆卸,維護簡單。
優(yōu)異的節(jié)能性能技術實現(xiàn)高效噴涂
我們的技術可實現(xiàn)高效的霧化噴涂。與傳統(tǒng)噴嘴相比,霧化消耗的壓縮氣體更少。
由于噴嘴具有自吸功能,無需泵即可噴射低粘度液體。