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簡(jiǎn)易微量金屬污染物回收裝置SC-3100介紹

  • 發(fā)布日期:2024-07-04      瀏覽次數(shù):475
    • 簡(jiǎn)易微量金屬污染物回收裝置SC-3100介紹

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      SC-3100
      ●連接至PC以創(chuàng)建各種收集模式,并從硅晶片的表面和側(cè)面(斜角部分)收集(樣品)微量金屬污染物。
      ●設(shè)備安裝方便,不需要太多外部資源,不占用太多空間。
      ●由于工作是機(jī)械完成的,因此不需要操作員技能,任何人都可以輕松取樣。
      ●由于設(shè)備自動(dòng)供給取樣化學(xué)品并移動(dòng)支架,因此與SC-2000相比,可以減少工人造成的污染。

      SC-8100
      ●具有即使在親水狀態(tài)的晶圓上也能收集污染物的功能,并且可以對(duì)硅以外的材料制成的晶圓或因體蝕刻等而導(dǎo)致表面變得粗糙的晶圓進(jìn)行采樣。
      ●放寬了對(duì)晶圓條件和采樣化學(xué)品類(lèi)型的限制,使得可以回收重金屬以外的離子。
      ●當(dāng)然,傳統(tǒng)的疏水表面采樣也是可能的。

      SC-9100
      ●具有即使是親水狀態(tài)的晶圓也能捕集污染物的功能,可對(duì)硅以外的材料的晶圓或因整體蝕刻等導(dǎo)致表面粗糙的晶圓進(jìn)行取樣。
      ●放寬了對(duì)晶圓條件和采樣化學(xué)品類(lèi)型的限制,使得可以回收重金屬以外的離子。
      ●當(dāng)然,傳統(tǒng)的疏水表面采樣也是可能的。
      ●由于設(shè)備自動(dòng)供給取樣化學(xué)品并移動(dòng)支架,因此與SC-8100相比,可以減少工人造成的污染。


      設(shè)備名稱(chēng)SC-3100SC-8100SC-9100
      手術(shù)電腦 (*3)
      安裝/拆卸固定器自動(dòng)的手動(dòng)的自動(dòng)的
      供應(yīng)取樣用化學(xué)溶液自動(dòng)的手動(dòng)的自動(dòng)的
      化學(xué)溶液取樣采集自動(dòng) (*1)手動(dòng)的自動(dòng)的
      基本采集模式環(huán)形、扇形、固定、半徑、圓弧
      追加收集圖案(*1)橫向、矩形、弧形
      定向平整處理(*2)添加到環(huán)形、固定半徑、側(cè)面檢索模式
      抽吸式液體收集-
      親水表面的恢復(fù)-
      外部尺寸(寬x深x高)(毫米)630×550×600600×550×700630×550×790
      重量35公斤40公斤50公斤
      使用地點(diǎn)干凈的草案里面
      必要的公用事業(yè)電源(AC100-240V)、
      純凈水、潔凈干燥空氣
      電源(AC100-240V)、N2、潔凈干燥空氣電源(AC100-240V)、N2、
      純凈水、潔凈干燥空氣


    聯(lián)系方式
    • 電話

    • 傳真

    在線交流
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