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有機薄膜的厚度膨脹測量用-激光熱膨脹儀LIX-2系列

  • 發(fā)布日期:2024-06-06      瀏覽次數(shù):202
    • 有機薄膜的厚度膨脹測量用-激光熱膨脹儀LIX-2系列

      可以以最小分辨率 1 nm 檢測有機薄膜、低膨脹玻璃、金屬等厚度方向的微小熱膨脹。
      測量熱膨脹的方法包括推桿法、光學干涉法、遙測法和電容器法。
      它采用雙光路邁克爾遜激光干涉測量法,被認為是現(xiàn)有的精確的測量方法。
      通過使用零摩擦平移鏡,只需將樣品端面加工成球面即可輕松進行測量。
      此外,通過使用可選的石英墊片,可以在改變溫度的同時測量所需的薄膜厚度。LIX-2 雙路邁克爾遜激光干涉膨脹儀是業(yè)界的商用型號。

      目的

      • 有機薄膜的厚度膨脹測量

      • 低膨脹玻璃高精度膨脹測量

      • 低膨脹金屬材料的質量控制測量

      • 密封劑膨脹的測量

      • 各種電子元件的精密熱膨脹測量

      • 標準膨脹計校準樣品的測量

      特征

      • 使用平行移動樣品架可實現(xiàn)穩(wěn)定測量

      • 超精密測量,讀數(shù)分辨率為 1nm

      • 通過使用石英樣品,還可以測量厚度為50至500μm的薄膜和薄板的厚度方向。

      標準

      平行移動樣品架符合JISR3251-1995

      規(guī)格

      模型LIX-2MLIX-2L
      溫度范圍室溫~700℃-150至200℃
      樣本量φ3~6mm x 長度10mm~15mm 長度方向兩端均為球面加工
      測量氣氛?真空中 ?低壓高純氦氣中
      測量方法雙光路邁克爾遜型激光干涉法

      測量原理

      image.png

      公用事業(yè)

      安裝占地面積本體約寬2000mm x 深800mm
      所需電源主機 AC100V 15A(帶插座和接地) 2處
      需要接地D級(接地電阻100Ω以下)
      冷卻水自來水或蒸餾水3L/min以上,壓力0.15MPa以上

      測量示例

      零膨脹玻璃的測量結果

      image.png
      image.png

      *經評估,所有產品在±150°C范圍內的熱膨脹系數(shù)均為10 -8 /K。



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