半導(dǎo)體行業(yè)用軟X射線離子靜電消除裝置
SXN 系列通過使用軟 X 射線照射電離特定區(qū)域的空氣來消除靜電。
非常適合在清潔環(huán)境中使用,主要用于半導(dǎo)體、LCD、OLED 等的制造過程。
清潔環(huán)境的理想選擇
與電暈放電離子發(fā)生器不同,放電針不會產(chǎn)生顆?;蛘掣健S捎诓皇褂每諝饣蝻L(fēng)扇,因此不存在氣流造成的環(huán)境干擾。
與免維護(hù)
電暈放電離子發(fā)生器不同,它沒有放電針,因此無需更換或清潔電極。當(dāng)輻照燈接近其使用壽命時,警報會通知您。
離子平衡±0V
由于⊕離子和?離子生成均勻,離子平衡在±0V時良好,不會發(fā)生反向充電。
高速除靜電性能
:瞬間電離帶電物體周圍的氣氛,可以快速衰減大范圍的靜電。
緊湊的機(jī)身和
小型頭部單元易于安裝,即使在有限的空間內(nèi)也能輕松安裝。
直接暴露于軟 X 射線對人體可能會產(chǎn)生有害影響并且很危險。使用本產(chǎn)品時,需要采用以下屏蔽結(jié)構(gòu)。
根據(jù)電離輻射危害預(yù)防條例,您必須在預(yù)定安裝日期 30 天前向主管勞動基準(zhǔn)監(jiān)督署提交通知。
通過考慮軟 X 射線屏蔽結(jié)構(gòu)材料和屏蔽率來遵守設(shè)備安全標(biāo)準(zhǔn)。
屏蔽材料
模型 | 設(shè)備配置 | |
SXN-10V | 控制器SXC-10T 1臺 | 照射頭SXH-10V 1臺 |
SXN-102V | 控制器SXC-102T 1臺 | 照射頭SXH-10V 2臺 |
SXN-104V | 控制器SXC-104T 1臺 | 照射頭SXH-10V 4臺 |
規(guī)格?。ㄖ鳈C(jī)、控制單元) | |||||
模型 | SXN-10V | SXN-102V | SXN-104V | ||
電源電壓/頻率 | AC100~240V 50/60Hz | ||||
能量消耗 | 23W | 40W | 50W | ||
離子發(fā)生方式 | 軟X射線照射法 | ||||
X射線輻射源 | 軟X射線管 | ||||
冷卻方式 | 自然冷卻 | ||||
連接頭數(shù) | SXN-10V×1臺 | SXN-10V×2臺 | SXN-10V x 4 臺 | ||
頭部重量 | SXN-10V:0.29kg/臺 | ||||
控制器重量 | SXC-10T:0.52kg | SXC-102T:1.14公斤 | SXC-104T:1.64公斤 | ||
頭部更換指南 | 大約運行 8,000 小時 | ||||
外部輸出 | 警報 | 磁頭異常、系統(tǒng)錯誤等 | |||
互鎖 | 聯(lián)鎖開/關(guān) | ||||
偏僻的 | 遠(yuǎn)程開/關(guān) | ||||
力量 | 電源開/關(guān) | ||||
隨著時間的推移 | 磁頭更換時間通知(7500小時) | ||||
展示 | 電源、聯(lián)鎖、超時、磁頭異常 | ||||
保證 | 購買后1年 |
材料 | 厚度(毫米) | |
① | 銅 | 0.1mm以上 |
② | 鋁 | 0.2mm以上 |
③ | 玻璃 | 1毫米以上 |
④ | 氯乙烯 | 5毫米以上 |
⑤ | 丙烯酸纖維 | 10毫米以上 |
* | 抗靜電亞克力:5mm以上 |
屏蔽率