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潔凈室內(nèi)是否有大于5μm的粉塵?

  • 發(fā)布日期:2023-06-06      瀏覽次數(shù):477
    • 潔凈室內(nèi)是否有大于5μm的粉塵?

      粒子計數(shù)器的評估有限制。
      潔凈室和潔凈室的評估通常使用粒子計數(shù)器。 這是因為目標(biāo)微小粒子是不可見的。 然而,典型粒子計數(shù)器的最大粒徑為5μm。 實際上,5μm~100μm的范圍肉眼是不可見的,但實際上,顆粒計數(shù)器并不清楚這個范圍內(nèi)是否有灰塵。

      5μm以上的垃圾堆積

      在潔凈室中看不見的灰塵中,真正麻煩的是尺寸小于1μm的微觀顆粒。 這是因為它不會永遠(yuǎn)落在地上,而是漂浮,并被這里和那里的人的運(yùn)動所吸引。

      然而,潔凈室技術(shù)的進(jìn)步使得控制這種微量廢物相對容易。 HEPA過濾器是其中的核心。 去除超過 99.97% 大于 0.3 μm 的顆粒。 潔凈室通過該HEPA過濾器以及氣流,正壓,通風(fēng)等的作用去除微小的碎屑。 

      然而,5~100μm的垃圾幾乎肉眼看不見,而是在氣流上漂流,而是下落并堆積。 如果你把它放在無人看管的地方,潔凈室的內(nèi)部會在你不知不覺中充滿垃圾。

      然后,在某些時候,它會粘附在工件上并導(dǎo)致缺陷。 

      對5μm以上的垃圾有效清洗

      事實上,我們早就知道這一點(diǎn)。 例如,在半導(dǎo)體工廠中,地板通常具有光柵結(jié)構(gòu),這樣垃圾就不會積聚在地板上,而垃圾會掉落在地板下。 此外,潔凈室的四個原則是“不堆積"和“清除"。 清潔是處理這種大小的垃圾的有效方法。 但問題是垃圾是看不見的!

      5μm以上的垃圾從何而來?

      讓我們在項目符號中列出主要的。 

      1.臟空氣從外部進(jìn)入

      2. 工人產(chǎn)生粉塵

      3. 潔凈室工具和設(shè)備(固定和操作)產(chǎn)生的粉塵

      4. 帶入并產(chǎn)生附著在原材料、包裝材料等上的垃圾

      5. 無塵室中堆積的垃圾的重新漂浮 我認(rèn)為根據(jù)工藝和工件的特性,還有其他各種原因。最重要的是,只有項目1可以在潔凈室中直接解決。

      對于10,000級用戶,更重要的是采取5μm或更大的垃圾防護(hù)措施

      10,000級潔凈室用于許多行業(yè)和工藝,但我認(rèn)為有很多情況的共同特征是以后無法去除灰塵,例如“粘貼",“繪畫",“印刷",“氣相沉積"和“粘合"。 并且在許多情況下,與這種良好產(chǎn)品率相關(guān)的垃圾大小為5~100μm。

      image.png

      不要忽視5~100μm的灰塵!

      讓我們總結(jié)一下上面的故事。 以萬級環(huán)境為目標(biāo)的粉塵~顆粒,根據(jù)其大小可分為三種類型。 1.有三種類型的可見垃圾,可見尺寸~2.100μm至5μm,不可見尺寸約3.5μm至0.3μm,無法用粒子計數(shù)器測量。 在一般環(huán)境中,看不到可見的垃圾 2.3. 在潔凈室中,除可見垃圾外,3.可通過潔凈室功能清除微小垃圾。 但是,不容忽視的是5~100μm的灰塵。 如果不通過清潔去除,則潔凈室本身無法將其清除。

      讓我們通過垃圾的“可視化"來清除垃圾!

      幫助可視化垃圾的工具是極化潔凈室燈。 在良好的條件下,這種光可以在潔凈室中看到多達(dá)約10μm的灰塵。 粘附在潔凈室地板和墻壁上的灰塵,潔凈室的窗簾,潔凈室中漂浮的灰塵,粘附在工件表面的灰塵,工件上的劃痕,例如裂紋,外觀缺陷等。
      審查潔凈室清潔真的很容易,這根本不是設(shè)計出來的,只是按照規(guī)定進(jìn)行的。
      使用此燈檢查潔凈室是否清潔。

      當(dāng)光線以約45度的角度照射時,附著在無塵室的地板,墻壁,設(shè)備和工件上的微小灰塵似乎漂浮起來。
      對于玻璃等透明工件,從背面應(yīng)用也很有效。
      但是,另一方面,如果表面形狀很大并且不均勻度漫射和反射光線,則無法看到狀況良好的情況。 (人體、噴砂、著色塑料、涂漆等)。

      image.png

      使用Polarion潔凈室燈進(jìn)行“可視化"

      一旦你可以“檢查當(dāng)前情況"“對策"

      極化潔凈室燈?型號:NP-1?是C的潔凈室燈系列中使用HID光源的強(qiáng)大的手持燈。

      如果條件良好,您可以在清潔規(guī)則中看到約10μm的灰塵。 它還突出顯示了潔凈室中的漂浮物,粘附在地板,墻壁,窗簾和潔凈室工件上的污垢,劃痕等。 它是清潔不可少的物品。


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